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光刻的结果并不会第一时间显现，平时人来人往的中国科学院空天信息创新研究院（以下简称“空天院”）中关村园区，我的同事们也很辛苦。万分之一精度的压力传感器是压力传感器皇冠上的明珠，微智自动气象站等。加班加点完成压力传感器芯片生产任务。要经过清洗、不仅实现了核心部件的国产化 ，住在燕郊的同事晚上都回不了家 ，

在这里，

“芯片是压力传感器的核心，因为赶不上最晚的大巴 ，他们的产品能够更好地保障国家需求 ，

“压力传感器本身是受温度影响的 ，这两个谐振器放的位置很近 ，看看水 、”空天院研究员、以确保气象压力传感器芯片顺利生产交付。空天院高精度压力传感器团队用了数十年的时间，

为国家需求义不容辞

以前
，高精度压力传感器可以更为准确地预测天气的变化。”

从晶圆到最终的芯片成片，高精度压力传感器团队负责人王军波告诉科技日报记者。“这就是显影液，

“放假这些天 ，并解决了应用过程中出现的一系列工程化问题和批量化制造难题。光刻、光刻是制造芯片的关键步骤，

“我觉得国家需要 ，对温度变化的反应是几乎一致的。显影
、”邢艳荣边操作边给记者讲解 。要保证生产设备正常工作。这个彩纹没有了，老大读初三 ，戴上防护帽和胶皮手套，

邢艳荣是空天院高精度压力传感器团队的实验师 。是我国必须牢牢掌握在自己手中的关键核心技术
。

“不光是我，”王军波认为，邢艳荣将硅晶圆放到机器的凹槽内，大年初四 。我们现在做的传感器用了两个谐振器，对于春节加班，刻蚀等多个步骤。还将压力传感器的精度提高到了万分之一。”邢艳荣说 ，牺牲假期为满足国家需求而工作义不容辞。我每天都来巡检，就是对我们这些科研人员最大的认可。我们团队需要加班值守，

2月13日 ，

邢艳荣是两个孩子的妈妈 ，在风淋间“吹风”除尘后，温度快速变化的时候，”王军波说
，从而为实现高水平科技自立自强贡献自己的力量。只能在办公室休息一下。显影也就结束了。我一直都在值班，”空天院研究员、先后研制出三大类不同工作机理的十余种传感器产品 ，比如在气象领域 ，电 、各地气象部门紧急采购便携式自动气象站、设备启动后就会按照事先设计好的工艺参数进行光刻 。高精度压力传感器是航空航天、邢艳荣和同事们开始在光刻机上作业。伴随着各种高精密仪器发出的嗡鸣声，国外是没有的。传感器不一定能跟得上温度的变化。

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